【48812】5项电子气体国标发布主要是选用气相色谱法

  2024年上半年，国家规范委公布了5项电子气体国家规范。电子气体的质量和纯度检测主要是选用气相色谱等剖析仪器。

  ：GB/T 43771-2024《电子气体 一氧化碳 》，GB/T 43772-2024《电子气体 二氧化碳》和GB/T 43773-2024《电子气体 羰基硫》于2024年3月15日公布，2024年10月1日 起正式施行。GB/T 43976-2024 《电子气体 四氟甲烷》和GB/T 43977-2024《电子气体 八氟环丁烷》于 2024年4月25日公布，2024年11月1日 起正式施行。

  电子气体是半导体工业中运用的要害资料，其质量和纯度直接影响芯片制作的功率和成品率。

  电子气在蚀刻、堆积、清洗等半导体制作工艺中起着至关重要的效果。电子气不仅是半导体制作的根底保证，更是推进科学技术进步和职业开展的要害力气。其使用场景规模广泛，包含晶圆制作、显示器出产和太阳能电池等范畴，支撑着很多高科技产业的开展。

  规范规则依照 GB/T 28726《气体剖析-氦离子化气相色谱法》规则的切开进样的办法测定羰基硫中氢、氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氢、二氧化硫、二硫化碳含量。GB/T 43976-2024 《电子气体 四氟甲烷》

  规范规则依照 GB/T 28726《气体剖析-氦离子化气相色谱法》规则的切开（除）进样的办法测定四氟甲烷中氢、氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷含量。GB/T 43977-2024《电子气体 八氟环丁烷》

  规范规则依照 GB/T 28726《气体剖析-氦离子化气相色谱法》规则的切开（除）进样的办法测定八氟环丁烷中的氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟丙烯含量。GB/T 43771-2024《电子气体 一氧化碳 》

  规范规则依照 GB/T 28726《气体剖析-氦离子化气相色谱法》规则的办法测定一氧化碳中的氢、氧＋氩、氮、二氧化碳含量。GB/T 43772-2024《电子气体 二氧化碳》

  规范规则依照 GB/T 28726《气体剖析-氦离子化气相色谱法》规则的切开进样的办法测定二氧化碳中的氢、氧＋氩、氮、一氧化碳含量。